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 Effect of Sealing Time of Anodic Aluminum Oxide (AAO) Film for Preventing Plasma Damage 阳极氧化铝（AAO）膜密封时间对防止等离子体损伤的影响
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期刊：Science of Advanced Materials 作者：Je-Boem Song; Jin‐Tae Kim; Seong‐Geun Oh; Jae‐Soo Shin; Je-Ran Chun; et al 出版日期：2015-01-01 |
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