| 标题 |
Investigating different carbon-based target materials: Can we improve ionization in HiPIMS for the deposition of diamondlike carbon films? 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
碳纤维
沉积(地质)
纳米技术
碳膜
电离
工程物理
光电子学
薄膜
化学工程
溅射沉积
复合材料
溅射
化学
工程类
离子
地质学
复合数
古生物学
有机化学
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Martin Fenker; Martin Balzer; Holger Kaßner 出版日期:2024-05-06 |
| 求助人 | |
| 下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
|
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|