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 Room-temperature bonding of glass chips via PTFE-assisted plasma modification for nanofluidic applications 相关领域
阳极连接
材料科学
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纳米技术
纳米流体学
硅
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期刊：Lab on a Chip 作者：Qiushi Kang; Chenxi Wang; Kaimeng Liu; Takehiko Kitamori 出版日期：2023-01-01 |
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