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标题
Study Of Self-Limiting Etching Behavior In Wet Isotropic Etching Of Silicon
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DOI
10.1109/imnc.1998.730056 doi
其它 期刊:Digest of Papers. Microprocesses and Nanotechnology'98. 198 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (Cat. No.98EX135)
作者:C.-H. Han; E.S. Kim
出版日期:2017-04-04
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