Extreme ultraviolet pellicle wrinkles influence on mask 3D effects: experimental demonstration

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标题	Extreme ultraviolet pellicle wrinkles influence on mask 3D effects: experimental demonstration
网址	https://doi.org/10.1364/ao.495649
DOI	10.1364/ao.495649 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Dong Gi Lee; Seungchan Moon; Jinhyuk Choi; Seong Ju Wi; Jinho Ahn 出版日期：2023
求助人	万年wannian 在 2026-10-08 17:57:00 发布自重庆，悬赏 10 积分
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