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标题
Preparation and performance of high-quality diamond substrates for semiconductors using the DC arc plasma jet CVD
相关领域
材料科学 光电子学 钻石 化学气相沉积 半导体 弧（几何） 等离子体 喷射（流体） 半导体材料 宽禁带半导体 纳米技术 半导体器件
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092596352...
DOI
10.1016/j.diamond.2026.114160 doi
其它 期刊：Diamond and Related Materials
作者：Yongji Lai; Zichen Zhao; Lijun Li; Peng Liu; Chuang Zhou; et al
出版日期：2026-09-11
求助人
追逐梦想的打工人 在 2026-10-13 08:49:01 发布自北京，悬赏 10 积分
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