Characterization of the damage produced by high-energy implantations into silicon by the thermal wave and RBS/channeling techniques

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标题	Characterization of the damage produced by high-energy implantations into silicon by the thermal wave and RBS/channeling techniques
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/0168583X91...
DOI	10.1016/0168-583x(91)95195-j doi
其它	期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：G.S. Sandhu; M. Anjum; S. Cherekdjian; B.K. Patnaik; N.R. Parikh; et al 出版日期：2002-11-12
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