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 Surface reaction mechanisms during atomic layer deposition of zirconium oxide using water, ethanol, and water-ethanol mixture as the oxygen sources 以水、乙醇和水-乙醇混合物为氧源的氧化锆原子层沉积过程中的表面反应机理
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Wanxing Xu; Paul C. Lemaire; Kashish Sharma; Dennis M. Hausmann; Sumit Agarwal 出版日期：2019-12-17 |
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