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Recent efforts of vapour-phase strategies for EUV resist toward high- and hyper-NA extreme ultraviolet lithography |
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期刊:Chemical Science 作者:Thi Thu Huong Chu; Dan N. Le; Minjong Lee; Dushyant M. Narayan; Doo San Kim; et al 出版日期:2026 |
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(2025-6-4)