已完结
  • 文献求助详情
标题
Recent efforts of vapour-phase strategies for EUV resist toward high- and hyper-NA extreme ultraviolet lithography
网址
DOI
10.1039/D6SC02112C doi
其它 期刊:Chemical Science
作者:Thi Thu Huong Chu; Dan N. Le; Minjong Lee; Dushyant M. Narayan; Doo San Kim; et al
出版日期:2026
求助人
停车线 在 2026-06-16 12:40:33 发布自湖北,悬赏 10 积分
下载 求助已完成,仅限求助人下载。
该求助已完结,感谢关注
如需该文献,请重新发布求助,前往发布
在科研通,轻松享有文献下载的自由
请遵守相关知识产权规定,勿将文件分享给他人,仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
NexusExplorer应助红豆大王采纳,获得10
1秒前
天天快乐应助Mangues采纳,获得10
3秒前
偶吼吼完成签到,获得积分10
3秒前
科研通AI2S应助完美的念露采纳,获得10
4秒前
5秒前
6秒前
6秒前
7秒前
cherry bomb完成签到,获得积分10
7秒前
今后应助刻苦一帆采纳,获得10
9秒前
jin发布了新的文献求助10
11秒前
11秒前
Kyone完成签到,获得积分10
12秒前
12秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
12秒前
时光如梭发布了新的文献求助10
13秒前
Hemingwayway发布了新的文献求助10
13秒前
充电宝应助HU采纳,获得10
16秒前
夏天发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
18秒前
现实的沛凝完成签到,获得积分10
20秒前
Fan小橙发布了新的文献求助10
20秒前
MOMO发布了新的文献求助10
21秒前
香蕉觅云应助曹超国采纳,获得10
21秒前
无花果应助mixiaojunhhh采纳,获得10
23秒前
24秒前
情怀应助hetao286采纳,获得10
26秒前
29秒前
30秒前
义气的雨旋完成签到,获得积分20
31秒前
脑洞疼应助kkk采纳,获得10
31秒前
Hello应助社恐丘丘人采纳,获得10
31秒前
32秒前
阔达的松完成签到,获得积分20
32秒前
33秒前
34秒前
35秒前
曹超国发布了新的文献求助10
35秒前
守护星星发布了新的文献求助10
36秒前
高分求助中
GL 2 A method for assessing the in-place cleanability of food processing equipment, Fourth Edition, December 2023 3000
Annie Ernaux: De la perte au corps glorieux 600
Writing Systems 500
Invited Discussant 63O and 64O 400
Thermodynamics of Natural Systems 400
A revision of Limenitis helmanni and its related species (Nymphalidae) from Central and South China 400
Direct and Iterative Linear System Solvers 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6817983
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8532285
关于积分的说明 18162302
捐赠科研通 6148936
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3032163
关于科研通互助平台的介绍 2010226
邀请新用户注册赠送积分活动 2009161