Helium as an exceptional protective gas for femtosecond laser processing of crystalline silicon

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标题	Helium as an exceptional protective gas for femtosecond laser processing of crystalline silicon
网址	http://dx.doi.org/10.1364/oe.583092
DOI	10.1364/oe.583092 doi
其它	期刊：Optics Express 作者：Jun-Jie Zhu; Ji-Hong Zhao; Zi-Xuan Li; Xiao-Hang Liu; Zhan-Guo Chen; et al 出版日期：2025-12-19
求助人	bbrfu 在 2026-09-11 19:10:15 发布自江苏，悬赏 10 积分
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