| 标题 |
A Review of Inductively Coupled Plasma-Assisted Magnetron Sputter System |
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| DOI |
10.5757/asct.2019.28.5.131
doi
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期刊:Applied Science and Convergence Technology 作者:Tae Hyung Kim; Geun Young Yeom 出版日期:2019-10-22 |
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(2025-6-4)