Annealing-induced defects and optical degradation in sputter-deposited silicon nitride: Implications for photonic applications

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标题	Annealing-induced defects and optical degradation in sputter-deposited silicon nitride: Implications for photonic applications
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2024.03.357
DOI	10.1016/j.ceramint.2024.03.357 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Daoming You; Yu Jiang; W.L. Li; Yali Zhao; Lili Wan; et al 出版日期：2024-04-12
求助人	windmelody 在 2026-07-03 10:14:34 发布自广东，悬赏 10 积分
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