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 Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering 基于离子束溅镀的大口径光学元件平坦化层均匀性研究
相关领域
化学机械平面化
溅射
材料科学
图层（电子）
光圈（计算机存储器）
离子束
梁（结构）
光电子学
光学
聚焦离子束
离子
复合材料
薄膜
纳米技术
物理
声学
量子力学
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期刊：ACTA PHOTONICA SINICA 作者：冯时 Feng Shi; 付秀华 Fu Xiuhua; 王大森 Wang Dasen; 李晓静 LI Xiao-jing; 聂凤明 NIE Feng-ming; et al 出版日期：2019-01-01 |
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