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 Direct mapping and characterization of dry etch damage-induced PN junction for long-wavelength HgCdTe infrared detector arrays 长波长HgCdTe红外探测器阵列干法刻蚀损伤诱导PN结的直接映射与表征
相关领域
碲化镉汞
材料科学
干法蚀刻
光电子学
红外线的
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光学
探测器
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蚀刻（微加工）
红外显微镜
腐蚀坑密度
波长
显微镜
图层（电子）
纳米技术
物理
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