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 Investigation of low-cost through glass vias formation on borosilicate glass by picosecond laser-induced selective etching 皮秒激光诱导选择性蚀刻在硼硅酸盐玻璃上形成低成本玻璃通孔的研究
相关领域
硼硅酸盐玻璃
材料科学
蚀刻（微加工）
激光器
各向同性腐蚀
氢氟酸
制作
皮秒
基质（水族馆）
光电子学
复合材料
光学
冶金
医学
海洋学
物理
替代医学
图层（电子）
病理
地质学
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| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics 作者：Li Chen; Daquan Yu 出版日期：2021-05-27 |
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