The PS/PDI: A high accuracy development tool for diffraction limited short-wavelength optics

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标题	The PS/PDI: A high accuracy development tool for diffraction limited short-wavelength optics PS/PDI：衍射受限短波长光学的高精度开发工具相关领域极紫外光刻光学干涉测量计量学衍射极端紫外线平版印刷术物理投影（关系代数）计算机科学激光器算法
网址	https://doi.org/10.1063/1.1291217
DOI	10.1063/1.1291217 doi
其它	期刊：AIP conference proceedings 作者：Patrick Naulleau 出版日期：2000-01-01
求助人	Song 在 2025-08-29 18:12:58 发布自吉林，悬赏 10 积分
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