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Fabrication of Germanium Tin Microstructures Through Inductively Coupled Plasma Dry Etching
电感耦合等离子体干法刻蚀制备锗锡微结构
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网址
https://doi.org/10.1109/tnano.2021.3115509
DOI
10.1109/tnano.2021.3115509 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Nanotechnology
作者：Guangyang Lin; Peng Cui; Tao Wang; Ryan Hickey; Jie Zhang; et al
出版日期：2021-01-01
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JackMe 在 2025-08-29 13:17:33 发布，悬赏 10 积分
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