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 Comparison of PECVD-WN/sub x/ and CVD-TiN films for the upper electrode of Ta/sub 2/O/sub 5/ capacitors 相关领域
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期刊： 作者：B.-L. Park; M.-B. Lee; Kyoung-Jun Moon; H.-D. Lee; Hyeonmuk Kang; et al 出版日期：2002-11-27 |
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