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 Atomistic mechanisms of Cu CMP in aqueous H2O2: Molecular dynamics simulations using ReaxFF reactive force field H2O2水溶液中Cu CMP的原子机理：ReaxFF反作用力场的分子动力学模拟
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期刊：Computational Materials Science 作者：Xiaoguang Guo; Xiaoli Wang; Zhuji Jin; Renke Kang 出版日期：2018-09-14 |
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