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Effects and mechanism of focusing condition on machining quality and bubble behaviors in femtosecond laser micro-grooving of silicon wafer in liquid
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材料科学 薄脆饼 飞秒 影象 气泡 激光器 半径 机械加工 光学 硅 复合材料 光电子学 机械 物理 冶金 计算机安全 计算机科学
网址
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S003039922...
DOI
10.1016/j.optlastec.2023.110101 doi
其它 期刊：Optics & Laser Technology
作者：Wentao Tian; Zhiwen Wang; Chengjin Wang; Dongfeng Qi; Hongyu Zheng
出版日期：2023-09-28
求助人
bbrfu 在 2025-11-26 18:22:53 发布自江苏，悬赏 10 积分
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