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 Investigating the effect of diaphragm cut pattern on overall sensitivity and pressure range of piezoresistive pressure sensor 膜片切割模式对压阻式压力传感器整体灵敏度和压力范围影响的研究
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期刊：Applied Physics A 作者：Kasra Abedi; R. Ansari; Mojtaba Haghgoo; Mohammad Kazem Hassanzadeh‐Aghdam 出版日期：2025-04-30 |
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