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标题
Efficient ion-slicing of 4-inch GaAs thin film for Si-based hetero-integration with ultra-smooth surface
用于硅基超光滑表面异质集成的4英寸GaAs薄膜的高效离子切片
相关领域
材料科学 薄膜 切片 退火（玻璃） 基质（水族馆） 图层（电子） 离子 光电子学 抛光 离子注入 纳米技术 复合材料 化学 有机化学 工程类 地质学 海洋学 机械工程
网址
https://doi.org/10.1007/s40843-022-2135-y
DOI
10.1007/s40843-022-2135-y doi
其它 期刊：Science China Materials
作者：Jialiang Sun; Jiajie Lin; Tingting Jin; Chaodan Chi; Min Zhou; et al
出版日期：2022-07-21
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酷炫的芒果 在 2025-12-24 14:30:58 发布自浙江，悬赏 10 积分
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