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Mechanical Properties and Creep Behavior of Undoped and Mg-Doped GaN Thin Films Grown by Metal–Organic Chemical Vapor Deposition 金属有机化学气相沉积法生长未掺杂和Mg掺杂GaN薄膜的力学性能和蠕变行为
相关领域
材料科学
蠕动
化学气相沉积
兴奋剂
金属有机气相外延
薄膜
三甲基镓
位错
复合材料
图层(电子)
纳米技术
光电子学
外延
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期刊:Coatings 作者:Ali Khalfallah; Zohra Benzarti 出版日期:2023-06-16 |
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