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 Investigation of Si-based thermoelectrochemical cells (TECs) towards semiconductor fabrication and processing 硅基热电化学电池（TEC）面向半导体制造和加工的研究
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期刊：Semiconductor Science and Technology 作者：Megat Muhammad Ikhsan Megat Hasnan; Nafarizal Nayan; Mansoor Ahmad; Rosnah Mohd Zin; Chin Fhong Soon; et al 出版日期：2021-09-01 |
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