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 Spatially resolved optical emission and electrical properties of SiH4RF discharges at 13.56 MHz in a symmetric parallel-plate configuration 对称平行板结构中13.56 MHz SiH4Rf放电的空间分辨光发射和电学性质
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Clara Bohm; J. Perrin 出版日期：1991-06-14 |
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