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Application of Amorphous Zirconium-Yttrium-Aluminum-Magnesium-Oxide Thin Film with a High Relative Dielectric Constant Prepared by Spin-Coating
高介电常数非晶态锆钇铝镁氧化物薄膜的应用
相关领域
材料科学 无定形固体 电介质 高-κ电介质 薄膜 钇 薄膜晶体管 锆 相对介电常数 栅极电介质 旋涂 带隙 等效氧化层厚度 介电常数 氧化物 复合材料 分析化学（期刊） 栅氧化层 光电子学 冶金 图层（电子） 纳米技术 晶体管 电气工程 化学 电压 工程类 有机化学 色谱法
网址
https://www.mdpi.com/2077-0375/11/8/608/pdf?version=16285884...
AI链接 mdpi.com mdpi.com doaj.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/membranes11080608 doi
其它 期刊：Membranes
作者：Huiyun Yang; Zhihao Liang; Xiao Fu; Zhuohui Xu; Honglong Ning; et al
出版日期：2021-08-10
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追风筝的人 在 2025-05-31 04:30:03 发布，悬赏 10 积分
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