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标题
Thermal atomic layer etching of amorphous and crystalline Al2O3 films
网址
https://doi.org/10.1116/6.0000995
DOI
10.1116/6.0000995 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Jessica A. Murdzek; Adarsh Rajashekhar; Raghuveer S. Makala; Steven M. George
出版日期：2021-06-09
求助人
JZAUA 在 2026-11-02 11:51:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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