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Fabrication of high aspect ratio TiO2 and Al2O3 nanogratings by atomic layer deposition
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-pdf/doi/10.1116/1.49475...
DOI
10.1116/1.4947586 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Evgeniy Shkondin; Osamu Takayama; Jonas Michael Lindhard; Pernille Voss Larsen; Mikkel Dysseholm Mar; et al
出版日期：2016-04-29
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llllll 在 2026-10-22 16:24:59 发布自陕西，悬赏 10 积分
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