Effect of a ZrO2 Seed Layer on the Antiferroelectric Polarization Behavior and Stability of Zr-Rich ZrHfO x Films

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标题	Effect of a ZrO2 Seed Layer on the Antiferroelectric Polarization Behavior and Stability of Zr-Rich ZrHfO x Films
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsaelm.6c00695
DOI	10.1021/acsaelm.6c00695 doi
其它	期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Shuo Zhang; Yue Peng; Wenxuan Ma; Qiuxia Wu; Litao Sun; et al 出版日期：2026-07-28
求助人	dlwlrma 在 2026-10-30 11:13:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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