标题 |
Advances in Graphene Based MEMS and Nems Devices: Materials, Fabrication, and Applications
石墨烯基MEMS和Nems器件的研究进展:材料、制造和应用
相关领域
纳米机电系统
材料科学
微电子机械系统
石墨烯
压阻效应
纳米技术
光电子学
制作
谐振器
薄脆饼
蚀刻(微加工)
图层(电子)
纳米颗粒
病理
医学
替代医学
纳米医学
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