Prospects for phase engineering of semi-stable Ga2O3 semiconductor thin films using mist chemical vapor deposition

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标题	Prospects for phase engineering of semi-stable Ga2O3 semiconductor thin films using mist chemical vapor deposition 雾化化学气相沉积半稳定Ga2O3半导体薄膜的相工程研究进展相关领域雾化学气相沉积气相基质（水族馆）相（物质）燃烧化学气相沉积半导体材料科学薄膜混合物理化学气相沉积化学工程沉积（地质）纳米技术工程物理光电子学化学碳膜热力学工程类物理有机化学地质学气象学古生物学海洋学沉积物
网址	https://doi.org/10.1063/5.0069554
DOI	10.1063/5.0069554 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Kentaro Kaneko; Kazuyuki Uno; Riena Jinno; Shizuo Fujita 出版日期：2022-03-07
求助人	shiki 在 2024-03-12 16:29:12 发布自浙江，悬赏 10 积分
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