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标题
Dual-step laser ablation and polishing for high-quality microgrooves in low-k wafer
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.mfglet.2026.06.009
DOI
10.1016/j.mfglet.2026.06.009 doi
其它 期刊：Manufacturing Letters
作者：Youngchul Kwon; Hao Fu; Mohammad Mohammadzadeh Sanandaji; Mohammad Ikram Haider; Avik Samanta; et al
出版日期：2026-09-01
求助人
swsx1317 在 2026-09-14 18:33:54 发布自浙江，悬赏 10 积分
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  • 9小时前

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