Hybrid quantum computing strategies for end-to-end atomistic modeling of etch chemistry: Ab initio calculations and machine learning

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标题	Hybrid quantum computing strategies for end-to-end atomistic modeling of etch chemistry: Ab initio calculations and machine learning
网址	https://pubs.aip.org/avs/aqs/article-pdf/doi/10.1116/5.03007...
DOI	10.1116/5.0300706 doi
其它	期刊：AVS Quantum Science 作者：Gopal R. Iyer; S. Sriraman; J. Drewery; A. Paterson 出版日期：2026-02-27
求助人	www 在 2026-08-19 16:15:23 发布自福建，悬赏 10 积分
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