HF-Assisted Binary Synergistic Activation Strategy for Large-Dishing Cu/SiO2 Low-Temperature Hybrid Bonding

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标题	HF-Assisted Binary Synergistic Activation Strategy for Large-Dishing Cu/SiO2 Low-Temperature Hybrid Bonding
网址	http://dx.doi.org/10.1021/acsaelm.5c00864
DOI	10.1021/acsaelm.5c00864 doi
其它	期刊：ACS Applied Electronic Materials 作者：Fanfan Niu; Qiushi Kang; Xiaohui Yuan; Linjie Liu; Chenxi Wang 出版日期：2025-07-07
求助人	子奇在 2026-08-19 23:05:01 发布自陕西，悬赏 10 积分
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