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说明

Li et al., Solar Energy Materials & Solar Cells (2022)​
Experimental optical and structural properties of ZnS, MgF₂, Ta₂O₅, Al₂O₃ and TiO₂ deposited by electron beam evaporation for optimum anti-reflective coating designs
DOI: 10.1016/j.solmat.2022.112080
这篇就是按 III-V 多结 ARC 场景，对 MgF₂、ZnS、Ta₂O₅、Al₂O₃、TiO₂ 做椭偏 n,k 测量，并讨论氧流量、厚度对参数的影响。它最适合作为你后续 ARC 设计的材料基础文献。

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