Silicon Nitride and Hydrogenated Silicon Nitride Thin Films: A Review of Fabrication Methods and Applications

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标题	Silicon Nitride and Hydrogenated Silicon Nitride Thin Films: A Review of Fabrication Methods and Applications
网址	https://www.mdpi.com/1996-1944/14/19/5658/pdf?version=163298...
DOI	10.3390/ma14195658 doi
其它	期刊：Materials 作者：Nikolett Hegedüs; Katalin Balázsi; Csaba Balázsi 出版日期：2021-09-28
求助人	mrp 在 2026-09-10 22:56:03 发布自湖北，悬赏 10 积分
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