Multiscale coupled plasma–feature simulation for 3D profile evolution in Si etching under HBr/Cl2 mixture plasmas - 科研通

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标题	Multiscale coupled plasma–feature simulation for 3D profile evolution in Si etching under HBr/Cl2 mixture plasmas
网址	https://pubs.aip.org/aip/pop/article-pdf/doi/10.1063/5.03335...
DOI	10.1063/5.0333544 doi
其它	期刊：Physics of Plasmas 作者：Yeong-Geun Yook; Sang-Young Chung; H. S. You; Jae Hyeong Park; Won-Seok Chang; et al 出版日期：2026-08-01
求助人	牧青在 2026-09-11 13:59:40 发布自四川，悬赏 10 积分
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