Design and experiment of multidimensional and subnanometer stage driven by spatially distributed piezoelectric ceramics

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标题	Design and experiment of multidimensional and subnanometer stage driven by spatially distributed piezoelectric ceramics
网址	https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-pdf/doi/10.1063/5.01906...
DOI	10.1063/5.0190638 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Fan Zhang; Qiangxian Huang; Chibin Zhang; Baolin Cheng; Rongjun Cheng; et al 出版日期：2024-05-13
求助人	陈大婷在 2026-03-14 22:45:47 发布自广东，悬赏 10 积分
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