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标题
Effect of low thermal budget annealing on surface passivation of silicon by ALD based aluminum oxide films
相关领域
钝化 退火（玻璃） 硅 氧化铝 铝 材料科学 氧化物 热的 热氧化 氧化铝 光电子学 分析化学（期刊） 化学工程 纳米技术 冶金 化学 热力学 物理 图层（电子） 工程类 色谱法
网址
http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2014/CP/C4CP03430A
DOI
10.1039/c4cp03430a doi
其它 期刊：Phys. Chem. Chem. Phys.
作者：Vandana Vandana; Neha Batra; Jhuma Gope; Rajbir Singh; Jagannath Panigrahi; et al
出版日期：2015-05-29
求助人
Captain 在 2023-03-25 22:14:58 发布自福建，悬赏 10 积分
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