AI-guided OCD metrology for single HAR sub-micron via measurement

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标题	AI-guided OCD metrology for single HAR sub-micron via measurement 用于单HAR亚微米通孔测量的人工智能引导OCD计量相关领域临界尺寸计量学瓶颈时域有限差分法材料科学计算机科学通过硅通孔维数（图论）光学硅光电子学物理嵌入式系统数学纯数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2658279
DOI	10.1117/12.2658279 doi
其它	期刊：作者：Fusheng Yang; Zih-Ying Fu; Liang-Chia Chen 出版日期：2023-04-27
求助人	fzzzzlucy 在 2025-04-09 09:12:07 发布自欧洲，悬赏 20 积分
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