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标题
Crystallinity of inorganic films grown by atomic layer deposition: Overview and general trends
原子层沉积无机薄膜结晶度的研究进展
相关领域
原子层沉积 结晶度 无定形固体 材料科学 沉积(地质) 薄膜 纳米技术 化学工程 无机化学 化学 地质学 冶金 有机化学 复合材料 工程类 古生物学 沉积物
网址
DOI
10.1063/1.4757907 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Ville Miikkulainen; Markku Leskelä; Mikko Ritala; Riikka L. Puurunen
出版日期:2013-01-08
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韦涔 在 2025-05-22 10:49:22 发布自山西,悬赏 10 积分
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