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The spatial frequency response and resolution limitations of pixelated mask spatial carrier based phase shifting interferometry 像素掩模空间载波相移干涉术的空间频率响应和分辨率限制
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期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者:Brad Kimbrough; James E. Millerd 出版日期:2010-06-29 |
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