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标题
A self-referenced interferometer for in situ cryogenic wafer curvature measurements
用于原位低温晶片曲率测量的自参考干涉仪
相关领域
曲率 干涉测量 薄脆饼 光学 材料科学 灵敏度（控制系统） 度量（数据仓库） 物理 光电子学 电子工程 计算机科学 工程类 几何学 数学 数据库
网址
https://doi.org/10.1063/5.0189541
AI链接 aip.org nih.govdoi.org
DOI
10.1063/5.0189541 doi
其它 期刊：Review of Scientific Instruments
作者：Margaret H. Samuels; Alan R. Kramer; Christopher J. K. Richardson
出版日期：2024-04-01
求助人
朴素便当 在 2025-07-10 03:39:32 发布，悬赏 10 积分
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