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 A 3‐in‐1 doping process for interdigitated back contact solar cells exploiting the understanding of co‐diffused dopant profiles by use of PECVD borosilicate glass in a phosphorus diffusion 利用PECVD硼硅酸盐玻璃在磷扩散中对共扩散掺杂物分布的理解的叉指背接触太阳能电池的3合1掺杂工艺
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期刊：Progress in Photovoltaics Research and Applications 作者：Sebastian Gloger; Axel Herguth; Josh Engelhardt; Giso Hahn; Barbara Terheiden 出版日期：2016-02-10 |
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