Fourier transform infrared spectroscopy investigation of chemical bonding in low-k a-SiC:H thin films

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标题	Fourier transform infrared spectroscopy investigation of chemical bonding in low-k a-SiC:H thin films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S002230931...
DOI	10.1016/j.jnoncrysol.2011.04.001 doi
其它	期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：S.W. King; M. French; J. Bielefeld; W.A. Lanford 出版日期：2011-05-06
求助人	hh 在 2026-01-19 22:47:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
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