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标题
Substrate temperature dependence of GaN film deposited on sapphire substrate by high-density convergent plasma sputtering device
高密度会聚等离子体溅射装置在蓝宝石衬底上沉积GaN薄膜的衬底温度依赖性
相关领域
蓝宝石 材料科学 溅射 衍射 基质（水族馆） 等离子体 半最大全宽 光电子学 光学 薄膜 激光器 纳米技术 量子力学 海洋学 地质学 物理
网址
https://doi.org/10.1116/6.0001860
DOI
10.1116/6.0001860 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A
作者：Taisei Motomura; Tatsuo Tabaru; Masato Uehara
出版日期：2022
求助人
曾经听筠 在 2025-12-05 13:23:15 发布自重庆，悬赏 10 积分
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