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  Evaluation of Influence on Etching Process of Sulfuric Acid-Hydrogen Peroxide Aqueous Solution by Impurity Addition 相关领域
过氧化氢
硫酸
杂质
水溶液
蚀刻（微加工）
化学
过程（计算）
材料科学
无机化学
化学工程
纳米技术
有机化学
计算机科学
操作系统
工程类
图层（电子）
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10.4139/sfj.70.618
doi
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期刊：Journal of The Surface Finishing Society of Japan 作者：Marina ISHIKAWA; Sachio YOSHIHARA 出版日期：2019-12-01 |
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