Via Bottom Profile Optimization in All-in-One Etch with Double Patterning Scheme - 科研通

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标题	Via Bottom Profile Optimization in All-in-One Etch with Double Patterning Scheme
网址	http://dx.doi.org/10.1149/08004.0279ecst
DOI	10.1149/08004.0279ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Ke-Fang Yuan; Jun-Qing Zhou; Min-Da Hu; Qi-Yang He; Hai-Yang Zhang 出版日期：2017-08-01
求助人	cyyan 在 2026-11-04 10:56:58 发布自上海，悬赏 10 积分
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Oxford University Press

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