Influence of AlN V/III ratio on epitaxial growth of (112‾2) AlGaN films

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标题	[求助补充材料] Influence of AlN V/III ratio on epitaxial growth of (112‾2) AlGaN films
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S136980012...
DOI	10.1016/j.mssp.2026.111352 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Qian Dai; Xiong Zhang; Zheng-Qing Qi; Lin Chen 出版日期：2027-01-01
求助人	自己在 2026-11-05 17:15:00 发布自吉林，悬赏 20 积分
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