Oxygen migration in TiO2-based higher-k gate stacks

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标题	Oxygen migration in TiO2-based higher-k gate stacks
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.32984...
DOI	10.1063/1.3298454 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：SangBum Kim; Stephen L. Brown; Stephen M. Rossnagel; John Bruley; Matthew Copel; et al 出版日期：2010-03-04
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